Структура та схема молекулярного насосу

Основними компонентами молекулярного насоса є поворотні лопаті та стаціонарні лопаті (рис. 1). Швидкість обертання обертання лопатки досягає 1800 до 90000 об / хв, швидкість на кінці леза досягає декількох сотень метрів на секунду, що близька до середньої швидкості молекули. І молекули газу транспортуються до вихлопного порту, зіштовхуючись з ним. Коли обертається лопать, яка встановлюється на підставі, обертається з високою швидкістю, імовірність того, що молекули газу переміщаються з боку всмоктування до вихлопної сторони, є А, і ймовірність того, що молекули газу переміщуються з вихлопної сторони до сторони всмоктування це Б. Обертаючий диск вражає молекули газу, потім молекули газу потрапляють на фіксований диск і літають до наступного поворотного лопаті, нарешті, молекула газу викидається до випускного отвору, змушуючи А> В досягти вихлопної функції.

Вихлопна швидкість молекулярного насоса = площа відкриття сторони всасывания × 11,6 × A / Bp

У формулі р вказує на збільшення значення тиску.

Чим більше кут лопаті, тим вище вихлопна швидкість, менша за коефіцієнт стиснення. Якщо кут лопаті невеликий, швидкість вихлопу низька, а коефіцієнт стиснення є великим. Вихлопна швидкість молекулярного насоса практично не впливає на тип газу, а максимальний тиск насоса може становити 10-8 Па, але швидкість вихлопу буде зменшена для легких молекул / атомів.

Як свого роду механічний насос з високою швидкістю обертання, молекулярний насос вимагає високого балансу і дуже тендітний для твердих сторонніх речовин. Тому на вході в нього зазвичай встановлюється металевий фільтр. Коли молекулярний насос працює, лопаті можуть бути пошкоджені, якщо тиск раптово погіршуватиметься.

Рис.1 Структура та схема молекулярного насоса

Звичайні молекулярні насоси використовують підшипники для забезпечення високошвидкісного обертання лопатей. Але молекулярний насос нового типу приймає магнітну левітаційну структуру, що робить швидкість лопаті безперервно зростаючою, і в той же час молекулярний насос більш підходить для системи надвисокої вакууму, а також продовжує термін служби молекулярний насос

У порівнянні з масляно-герметичними роторними лопатевими насосами та сухими насосами турбо-типу, молекулярні насоси мають більш чисті робочі умови і можуть досягти надзвичайно високого рівня вакууму. Проте, молекулярні насоси не можуть працювати при атмосферному тиску, і вони повинні використовуватися в комбінації з іншими вакуумними насосами з низьким рівнем викиду (масляно-герметичні роторні вагові насоси або турбосухі насоси), які можуть працювати при атмосферному тиску. Молекулярний насос має складну структуру та високу ціну, а під час швидкісного обертання відбувається вібрація.