Що таке токсичне отруєння при магнетронному розпилюванні? Які загальні фактори впливу та рішення?
Jun 11, 2018| 1. Цільове отруєння
◆ Накопичення позитивного іона
При отруєнні мішені на цільовій поверхні утворюється ізоляційна плівка. Коли позитивні іони досягають поверхні катодної мішені, вони не можуть бути безпосередньо введені до неї через бар'єр ізоляційного шару, але накопичуються на цільовій поверхні. Таким чином, холодне поле легко утворюється, а також дуговий розряд - дугове освітлення. Отже, катодне розпилення не може продовжуватись.
◆ Анод зникає
При отруєнні мішені на стіну заземленої вакуумної камери наносять також ізоляційну плівку. Електрони, що досягають анода, не можуть вводити анод і зникають.
2. Вплив факторів отруєння мішенню
Фактори, що впливають на отруєння мішенню, - головним чином співвідношення реактивного газу та газу, що розпилюється. Надмірний газ реакції спричинить отруєння мішенню. У процесі реактивного напилення проміжна ділянка каналу на цільовій поверхні покривається продуктом реакції, або продукт реакції знімається, щоб повторно піддавати металеву поверхню, яка торгується і по черзі.
Якщо швидкість утворення сполуки є більшою, ніж швидкість, з якої сполука знімається, площа, покрита сполукою, збільшується. При певній потужності кількість реагуючого газу, що беруть участь у утворенні сполук, збільшується, а швидкість утворення сполук збільшується. Якщо кількість реагуючого газу надмірно збільшується, площа, яку покриває сполука, збільшується.
Якщо потік реагуючого газу не можна регулювати за часом, швидкість збільшення зони покриття сполуки не може бути пригнічена, а канал напилення буде додатково покритий сполукою, коли ціль розпилення повністю покрита сполукою, ціль повністю отруєний
3. Рішення отруєння мішенню
◆ Прийняти потужність середньої частоти або потужність РЧ.
◆ Прийняти замкнуту петлю, щоб контролювати кількість реагуючого газу.
◆ Використовуйте ближні цілі
◆ Контролювати перетворення режиму нанесення покриттів: перед нанесенням покриття, зібрати криву ефекту гістерезису від отруєння мішенню, зробити контроль потоку вхідного отвору на передній частині отруєння мішенню і забезпечити, щоб процес завжди знаходився в режимі, який перед тим, як осадження швидко різко падає.
